近年來,隨著JIT(Just In Time)、BTO(面向訂單生產(chǎn))等新型生產(chǎn)模式的提出,以及客戶、市場對產(chǎn)品質(zhì)量提出更高要求,MES被重新發(fā)現(xiàn)并得到重視。同時企業(yè)開始認(rèn)識到要從基礎(chǔ)的生產(chǎn)管理上提升競爭力,即只有將數(shù)據(jù)信息從產(chǎn)品級(基礎(chǔ)自動化級)取出,穿過操作控制級,送達(dá)管理級,通過連續(xù)信息流來實現(xiàn)企業(yè)信息集成才能使企業(yè)在日益激烈的競爭中立于不敗之地。制造執(zhí)行系統(tǒng)(MES)旨在提升企業(yè)執(zhí)行能力,具有不可替代的功能,競爭環(huán)境下的流程行業(yè)企業(yè)應(yīng)分清不同制造管理系統(tǒng)的目標(biāo)和作用,明確MES在集成系統(tǒng)中的定位,重視信息的準(zhǔn)確及時、規(guī)范流程、利用工具、管理創(chuàng)新,根據(jù)MES成熟度模型對自身的執(zhí)行能力進(jìn)行分析,按照信息集成、事務(wù)處理、制造智能三階段循序漸進(jìn)地實施MES系統(tǒng),才能充分發(fā)揮企業(yè)信息化的作用,提高企業(yè)競爭力,為企業(yè)帶來預(yù)期效益。
一、添加通過SECS/GEM協(xié)議通信的要求:
1、機(jī)臺端要支持國際半導(dǎo)體設(shè)備與材料協(xié)會制定的SECS/GEM標(biāo)準(zhǔn);
2、如果機(jī)臺不支持網(wǎng)線連接(TCP/IP),則需要提供相應(yīng)的中轉(zhuǎn)設(shè)備實現(xiàn)聯(lián)網(wǎng)功能(可聯(lián)網(wǎng)的PLC、操作電腦等);
3、機(jī)臺端要開放符合SECS/GEM標(biāo)準(zhǔn)(包括E4、E5、E30、E37)所需要使用到的所有接口及個性化定義的API文檔(針對于不同設(shè)備型號的數(shù)據(jù)傳輸控制中的命令定義),通過賣方提供的通訊協(xié)議&接口,用戶可實現(xiàn)自有服務(wù)器到機(jī)臺端數(shù)據(jù)的實時監(jiān)控和機(jī)臺操作界面中所有功能的遠(yuǎn)程執(zhí)行;
二、基本功能
設(shè)備軟件主要功能 功能描述及驗收標(biāo)準(zhǔn)
信息追溯 設(shè)備帶有RFID和二維碼及條碼讀取功能,用于讀取每盤加工晶片的ID,讀取的數(shù)據(jù)生成文檔存儲至服務(wù)器,方便系統(tǒng)的調(diào)用。
自動化 1)可實現(xiàn)Autorecipe和自動進(jìn)出站功能;
2)自動化流程滿足用戶需要;
3)設(shè)備滿足SECS/GEM協(xié)議通信的要求,具體見第2項。
數(shù)據(jù)記錄及數(shù)據(jù)上傳 1)生產(chǎn)總量數(shù)據(jù)記錄;
2)生產(chǎn)效率數(shù)據(jù)記錄
3)系統(tǒng)狀態(tài)顯示
4)運行時間記錄
5)故障時間記錄
6)待料時間記錄
7)耗材壽命及更換記錄
8)軟體recipe更改記錄
9)作業(yè)異常信息記錄
10)彈性化設(shè)計:軟件規(guī)格程序可依需求修改
三、軟件要求
● 自動模式
1. 更換至各種模式之選擇鍵
2. 顯示各槽工作狀態(tài) (如: 待機(jī)中或工作中)
3. 顯示制程槽目前之配方編號;顯示制程槽之制程總時間,剩馀時間(遞減) 及已工作之時間(遞增)
4. 顯示年, 月, 日, 時,分,秒時間訊息
5. 顯示目前操作人員之等級
6. 藥液壽命監(jiān)控(時間,片數(shù),次數(shù))
● 手動模式
1. 更換至各種模式之選擇鍵
2. 顯示各制程槽感測器狀態(tài) (如: 液位信息)
3. 各閥件及其他被動元件操作
4. 超聲波,加熱器,晃動裝置手動操作
5. Robot 原點找尋操作
6. Robot 各槽位及個上下點移動單動操作
7. Robot 教導(dǎo)模式操作
● 警報模式
1. 更換至各種模式之選擇鍵。
2. 實時報警(實時報警主要顯示設(shè)備當(dāng)前還存在的報警;并顯示發(fā)生的時間)
3. 歷史報警(歷史報警主要顯示設(shè)備曾經(jīng)發(fā)生的報警;并顯示記錄發(fā)生的時間,確認(rèn)時間,復(fù)位時間,報警解除時間。便于設(shè)備人員查找問題)
4. 顯示發(fā)生中之警報信息。(警報解除后,按操作面板上復(fù)位鍵解除警報信息。
3. 畫面右下角"歷史記錄",進(jìn)入之前警報訊息、時間等記錄。以利追溯警報狀況
● 參數(shù)設(shè)定
1. 設(shè)定設(shè)備調(diào)試所需之各項參數(shù)。
2. 設(shè)定酸液使用時間、次數(shù),片數(shù)等各項參數(shù)。
3. 設(shè)定定量補(bǔ)酸模式:依每個Run 或時間。
4. 操作等級密碼設(shè)定 (高等級才可設(shè)定此功能)